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ソーワイヤ
ソーワイヤとは
半導体用シリコンウェーハを製造するのに使用されている高炭素鋼ワイヤです。主に単結晶シリコンインゴットをφ0.10~0.15mmのソーワイヤを用いてスライスしウェーハ状にする工程で使用されています。
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